Kyocera développe du nitrure de silicium pour tester les puces de nouvelle génération
Kyocera a récemment annoncé le développement d'un nouveau matériau céramique à base de nitrure de silicium pour les tests fonctionnels des micropuces de nouvelle génération. Ce nouveau matériau présente des propriétés de dilatation thermique et de résistance à la flexion améliorées, ce qui permet de produire de fines plaques de nitrure de silicium avec un espacement extrêmement étroit entre les sondes de contact, ce qui est essentiel pour tester les micropuces de nouvelle génération.
Une carte de sonde de semi-conducteur est un outil de test électronique de précision utilisé pour établir un contact avec divers points de test sur les puces de semi-conducteurs lors des tests au niveau de la tranche (communément appelés "pads"). En établissant un contact à ces points, la carte de sonde peut transmettre des signaux électriques pour évaluer la fonctionnalité, les performances et les caractéristiques électriques de la puce. Généralement montée sur un équipement de test automatique (ATE), la carte de sonde est utilisée pour le dépistage préliminaire avant le découpage en dés de la tranche afin d'éliminer les puces défectueuses. Ces sondes, installées sur des plaques de guidage en nitrure de silicium, peuvent être constituées de contacts métalliques, de sondes à ressort ou de sondes MEMS. La disposition et l'espacement de ces sondes doivent être conçus avec précision (la distance entre les sondes n'est souvent que de quelques dizaines de microns, avec jusqu'à 100 000 sondes sur une seule plaque de guidage) pour assurer un contact précis avec les points de test sur la tranche. En plus de nécessiter une résistance mécanique et à la flexion élevée pour supporter les sondes, la stabilité thermique et les propriétés isolantes des plaques de guidage en nitrure de silicium aident à réduire les changements de résistance induits par la dilatation et à prévenir les fuites de courant, qui sont toutes cruciales pour des tests précis.
Coefficient de dilatation thermique amélioré
Kyocera a révélé que le nouveau nitrure de silicium a doublé son coefficient de dilatation thermique à 150 °C par rapport aux matériaux précédents et offre une résistance à la flexion élevée dépassant 800 MPa (mégapascals). La combinaison du substrat en nitrure de silicium avec la carte de sonde améliore l'efficacité et la précision des tests de semi-conducteurs, garantissant ainsi la qualité et les performances des puces.
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