plaques de carbure de silicium
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Plats en céramique de plateau de carbure de silicium de Sic pour la gravure d'ICP
Les supports de tranches utilisés dans les processus de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plaques à plateaux en céramique de carbure de silicium de haute pureté qui offrent une résistance thermique exceptionnelle, une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique robuste. Pour toute demande, veuillez envoyer un e-mail à info@mascera-tec.com ou appeler le +86 13860446139
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