Plaques de plateau en céramique de carbure de silicium Sic pour gravure Icp
- MASCERA
- Xiamen, Chine
- 35-40 jours
- 500 pièces par mois
Les supports de plaquettes utilisés dans les processus de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plateaux en céramique en carbure de silicium de haute pureté qui offrent une résistance à la chaleur exceptionnelle, une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique robuste.
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Plaques de plateau en céramique de carbure de silicium Sic pour gravure Icp
| Information produit | |
| Numéro d'article | MSJ/SC004 |
| Matériel | carbure de silicium |
| Forme | disque en céramique |
| Couleur | noir |
| Densité | 3.12g/cm3 |
| Taille | personnalisé |
| Rugosité de surface | meulage fin ou polissage |
| MOQ | 10 pièces par type |
| Application | plateaux en céramique pour gravure ICP |
Les supports de plaquettes utilisés dans les processus de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plateaux en céramique en carbure de silicium de haute pureté qui offrent une résistance à la chaleur exceptionnelle, une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique robuste.
Céramique sans oxyde, la céramique au carbure de silicium (SiC) est un matériau extra-dur qui a une dureté moh jusqu'à 9,5. La céramique de carbure de silicium possède non seulement d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée à la flexion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance à la corrosion, une résistance élevée à l'usure et un faible coefficient de frottement, mais également des propriétés mécaniques exceptionnelles (résistance, résistance au fluage) à haute température, la résistance à haute température peut être maintenue jusqu'à 1600°C, ce qui est le meilleur parmi tous les matériaux céramiques. La résistance à l'oxydation de la céramique au carbure de silicium est également la meilleure parmi toutes les céramiques sans oxyde.
Mascera a produit des céramiques au carbure de silicium sous deux formes, le carbure de silicium fritté (SSiC) et le carbure de silicium lié par réaction (SiSiC).
La céramique de carbure de silicium frittée est produite en utilisant des poudres brutes de haute pureté et de qualité nanométrique, qui sont frittées à une température élevée allant de 2100℃ à 2200℃. Ce processus de frittage conduit à une densification du corps vert et à un retrait d'environ 20 %. D'autre part, le carbure de silicium lié par réaction utilise une poudre de carbure de silicium de la taille d'un micron et est fritté à une plage de température de 1450℃ à 1700℃. Contrairement au carbure de silicium fritté, le carbure de silicium lié par réaction ne subit pas de retrait de forme pendant le processus de frittage.
La température de frittage plus élevée du carbure de silicium fritté se traduit par des caractéristiques de performance améliorées, y compris une densité plus élevée, une résistance accrue et une résistance améliorée à l'oxydation et à la corrosion. Pour les applications qui ne nécessitent pas de telles propriétés de haute performance, le carbure de silicium lié par réaction est un choix plus rentable
Principales propriétés de la céramique au carbure de silicium
Haute résistance à haute température
Résistance à l'oxydation à haute température
Excellente résistance à l'usure
Faible coefficient de dilatation thermique
Haute conductivité thermique
Excellente résistance aux chocs thermiques
Haute dureté
Poids léger en raison de la faible densité
Bonne résistance à la corrosion
Applications typiques de la céramique au carbure de silicium
Bagues d'étanchéité mécaniques
Billes, sièges, chemises pour soupape
Meubles de four
Échangeurs de chaleur
Composants de turbine fixes et mobiles
Médias de broyage
Plaques militaires pare-balles
Composants pour brûleurs
Roulements en céramique
Fiche technique du matériau
| Article | Unité | paramètres techniques | |
|---|---|---|---|
| Matériel | -- | SSiC | SiSiC |
| Couleur | -- | Noir | Noir |
| Densité | g/cm3 | 3.12 | 3.06 |
| Absorption de l'eau | % | 0 | 0 |
| JEU | -- | ≥92 | ≥90 |
| Module d'élasticité | Gpa | 400 | 350 |
| Résistance à la flexion (@RT) | MPa | 359 | 300 |
| Résistance à la compression (@RT) | MPa | ≥2200 | 2000 |
| Conductivité thermique (@RT) | W/Mk | 110 | 100 |
Coefficient de dilatation thermique (20-1000℃) | 10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
| Max. Température de fonctionnement | ℃ | 1500 | 1300 |
Formes disponibles de céramique au carbure de silicium
Tige en céramique / goupille en céramique / piston en céramique
Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique
Anneau en céramique / Rondelle en céramique / Entretoise en céramique
Disque en céramique
Assiette en céramique / bloc en céramique
Boule en céramique
Piston en céramique
Buse en céramique
Creuset en céramique
Autres pièces en céramique personnalisées
Emballage et expédition
| Type d'emballage | boîte en carton avec protection en mousse |
| Modalités de paiement | TTT/Western Union/Paypal 50% paiement en avance et 50% avant expédition |
| Port de chargement | Xiamen, Chine |
| Manière d'expédition | Par mer/air/porte-à-porte express |
Nous sommes un fabricant professionnel de céramiques techniques, nous fournissons une production sur mesure à des prix compétitifs....more
