Plaques en céramique en carbure de silicium pour gravure ICP

Détails du produit

Les supports de plaquettes utilisés dans les procédés de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plateaux en céramique de carbure de silicium de haute pureté offrant une résistance thermique exceptionnelle, une répartition thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épitaxiale, ainsi qu'une résistance chimique robuste.

Céramique non oxydée, la céramique au carbure de silicium (SiC) est un matériau ultra-dur dont la dureté Mohs atteint 9,5. Elle présente non seulement d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée à la flexion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance à la corrosion, une résistance élevée à l'usure et un faible coefficient de frottement, mais aussi d'excellentes propriétés mécaniques (résistance mécanique, résistance au fluage) à haute température. Sa résistance à haute température peut être maintenue jusqu'à 1600 °C, ce qui la place au sommet de toutes les céramiques. La résistance à l'oxydation de la céramique au carbure de silicium est également la meilleure de toutes les céramiques non oxydées.

Mascera a produit des céramiques en carbure de silicium sous deux formes : le carbure de silicium fritté (SSiC) et le carbure de silicium lié par réaction (SiSiC). 

La céramique en carbure de silicium fritté est produite à partir de poudres brutes de haute pureté et de qualité nanométrique, frittées à haute température, entre 2100 et 2200 °C. Ce procédé de frittage entraîne une densification du corps cru et un retrait d'environ 20 %. Le carbure de silicium lié par réaction, quant à lui, utilise une poudre de carbure de silicium de l'ordre du micron et est fritté à une température comprise entre 1450 et 1700 °C. Contrairement au carbure de silicium fritté, le carbure de silicium lié par réaction ne subit pas de retrait de forme lors du frittage.

La température de frittage plus élevée du carbure de silicium fritté améliore ses performances, notamment sa densité, sa robustesse et sa résistance à l'oxydation et à la corrosion. Pour les applications ne nécessitant pas de telles performances, le carbure de silicium lié par réaction constitue un choix plus économique.

Principales propriétés de la céramique en carbure de silicium

• Haute résistance à haute température

• Résistance à l'oxydation à haute température

• Excellente résistance à l'usure

• Faible coefficient de dilatation thermique

• conductivité thermique élevée

• Excellente résistance aux chocs thermiques

• Dureté élevée

• Léger en raison de sa faible densité
  

• Bonne résistance à la corrosion

Applications typiques des céramiques en carbure de silicium

• Bagues d'étanchéité mécaniques

• Billes, sièges, chemises pour vannes

• Meubles de four

• Échangeurs de chaleur

• Composants fixes et mobiles de la turbine

• Médias de broyage

• Plaques pare-balles militaires

• Composants pour brûleurs

• roulements en céramique

Fiche technique du matériau

Formes disponibles de céramiques en carbure de silicium

1. Tige en céramique / broche en céramique / piston en céramique

2. Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique

3. Bague en céramique / rondelle en céramique / entretoise en céramique 

4. Disque en céramique

5. Plaque en céramique / bloc en céramique

6. bille en céramique

7. Piston en céramique

8. buse en céramique

9. creuset en céramique
   

10. Autres pièces en céramique sur mesure

Emballage et expédition