Plats en céramique de plateau de carbure de silicium de Sic pour la gravure d'ICP

Détail du produit

Les supports de tranches utilisés dans les processus de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plaques à plateaux en céramique de carbure de silicium de haute pureté qui offrent une résistance thermique exceptionnelle, une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique robuste.

Céramique sans oxyde, la céramique au carbure de silicium (SiC) est un matériau extrêmement dur qui a une dureté Moh allant jusqu'à 9,5. La céramique de carbure de silicium possède non seulement d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée à la flexion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance à la corrosion, une résistance élevée à l'usure et un faible coefficient de frottement, mais également des propriétés mécaniques exceptionnelles (résistance, résistance au fluage) à haute température, la résistance à haute température peut être maintenue jusqu'à 1 600 °C, ce qui est la meilleure parmi tous les matériaux céramiques. La résistance à l’oxydation de la céramique au carbure de silicium est également la meilleure parmi toutes les céramiques non oxydées.

Mascera a produit des céramiques de carbure de silicium sous deux formes, du carbure de silicium fritté (SSiC) et du carbure de silicium lié par réaction (SiSiC). 

La céramique de carbure de silicium fritté est produite en utilisant des poudres brutes de haute pureté et de qualité nanométrique, qui sont frittées à une température élevée allant de 2 100 ℃ à 2 200 ℃. Ce processus de frittage conduit à une densification du corps vert et à un retrait d'environ 20 %. D'autre part, le carbure de silicium lié par réaction utilise une poudre de carbure de silicium de taille micronique et est fritté à une plage de température de 1 450 ℃ à 1 700 ℃. Contrairement au carbure de silicium fritté, le carbure de silicium lié par réaction ne subit pas de retrait de forme pendant le processus de frittage.

La température de frittage plus élevée du carbure de silicium fritté entraîne des caractéristiques de performance améliorées, notamment une densité plus élevée, une résistance accrue et une résistance améliorée à l'oxydation et à la corrosion. Pour les applications qui ne nécessitent pas de telles propriétés de haute performance, le carbure de silicium lié par réaction constitue un choix plus rentable.

Principales propriétés de la céramique au carbure de silicium

• Haute résistance à haute température

• Résistance à l'oxydation à haute température

• Excellente résistance à l'usure

• Faible coefficient de dilatation thermique

• Conductivité thermique élevée

• Excellente résistance aux chocs thermiques

• Haute dureté

• Léger en raison de sa faible densité
  

• Bonne résistance à la corrosion

Applications typiques des céramiques de carbure de silicium

• Bagues d'étanchéité mécaniques

• Billes, sièges, chemises pour vanne

• Meubles de four

• Échangeurs de chaleur

• Composants de turbine fixes et mobiles

• Médias de broyage

• Plaques pare-balles militaires

• Composants pour brûleurs

• Roulements en céramique

Fiche technique du matériau

Formes disponibles de céramiques en carbure de silicium

1. Tige en céramique/goupille en céramique/piston en céramique

2. Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique

3. Bague en céramique / rondelle en céramique / entretoise en céramique 

4. Disque en céramique

5. Plaque en céramique / bloc en céramique

6. Boule en céramique

7. Piston en céramique

8. Buse en céramique

9. Creuset en céramique
   

10. Autres pièces en céramique sur mesure

Emballage et expédition