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Plaques de plateau en céramique de carbure de silicium Sic pour gravure Icp

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Plaques de plateau en céramique de carbure de silicium Sic pour gravure Icp
  • MSJ/SC004
  • carbure de silicium
  • personnalisé
  • 5 pièces par type
  • Gravure ICP

Les supports de plaquettes utilisés dans les processus de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plateaux en céramique en carbure de silicium de haute pureté qui offrent une résistance à la chaleur exceptionnelle, une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique robuste.

Pour toute demande, veuillez envoyer un e-mail à info@mascera-tec.com ou appeler le +86 13860446139

Détail du produit

silicon carbide platesLes supports de plaquettes utilisés dans les processus de croissance épitaxiale sont soumis à des températures élevées et à un nettoyage chimique rigoureux. Mascera propose des plateaux en céramique en carbure de silicium de haute pureté qui offrent une résistance à la chaleur exceptionnelle, une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique robuste.


Céramique sans oxyde, la céramique au carbure de silicium (SiC) est un matériau extra-dur qui a une dureté moh jusqu'à 9,5. La céramique de carbure de silicium possède non seulement d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée à la flexion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance à la corrosion, une résistance élevée à l'usure et un faible coefficient de frottement, mais également des propriétés mécaniques exceptionnelles (résistance, résistance au fluage) à haute température, la résistance à haute température peut être maintenue jusqu'à 1600°C, ce qui est le meilleur parmi tous les matériaux céramiques. La résistance à l'oxydation de la céramique au carbure de silicium est également la meilleure parmi toutes les céramiques sans oxyde.


Mascera a produit des céramiques au carbure de silicium sous deux formes, le carbure de silicium fritté (SSiC) et le carbure de silicium lié par réaction (SiSiC). 


La céramique de carbure de silicium frittée est produite en utilisant des poudres brutes de haute pureté et de qualité nanométrique, qui sont frittées à une température élevée allant de 2100℃ à 2200℃. Ce processus de frittage conduit à une densification du corps vert et à un retrait d'environ 20 %. D'autre part, le carbure de silicium lié par réaction utilise une poudre de carbure de silicium de la taille d'un micron et est fritté à une plage de température de 1450℃ à 1700℃. Contrairement au carbure de silicium fritté, le carbure de silicium lié par réaction ne subit pas de retrait de forme pendant le processus de frittage.

La température de frittage plus élevée du carbure de silicium fritté se traduit par des caractéristiques de performance améliorées, notamment une densité plus élevée, une résistance accrue et une résistance accrue à l'oxydation et à la corrosion. Pour les applications qui ne nécessitent pas de telles propriétés de haute performance, le carbure de silicium lié par réaction est un choix plus rentable


Principales propriétés de la céramique au carbure de silicium

  • Haute résistance à haute température

  • Résistance à l'oxydation à haute température

  • Excellente résistance à l'usure

  • Faible coefficient de dilatation thermique

  • Haute conductivité thermique

  • Excellente résistance aux chocs thermiques

  • Haute dureté

  • Poids léger en raison de la faible densité

  • Bonne résistance à la corrosion


Applications typiques de la céramique au carbure de silicium

  • Bagues d'étanchéité mécaniques

  • Billes, sièges, chemises pour soupape

  • Meubles de four

  • Échangeurs de chaleur

  • Composants de turbine fixes et mobiles

  • Médias de broyage

  • Plaques militaires pare-balles

  • Composants pour brûleurs

  • Roulements en céramique


Fiche technique du matériau

ArticleUnitéparamètres techniques
Matériel--SSiCSiSiC
Couleur--NoirNoir
Densitég/cm33.12
3.06
Absorption de l'eau%00
JEU--≥92≥90
Module d'élasticitéGpa
400
350
Résistance à la flexion (@RT)MPa359
300
Résistance à la compression (@RT)MPa≥22002000
Conductivité thermique (@RT)W/Mk110100

Coefficient de dilatation thermique 

(20-1000℃)

10-6/°C4.04.0
Max. Température de fonctionnement1500
1300


Formes disponibles de céramique au carbure de silicium

  1. Tige en céramique / goupille en céramique / piston en céramique

  2. Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique

  3. Anneau en céramique / Rondelle en céramique / Entretoise en céramique 

  4. Disque en céramique

  5. Assiette en céramique / bloc en céramique

  6. Boule en céramique

  7. Piston en céramique

  8. Buse en céramique

  9. Creuset en céramique

  10. Autres pièces en céramique personnalisées



Emballage et expédition

Type d'emballageboîte en carton avec protection en mousse
Modalités de paiement

TTT/Western Union/Paypal

50% paiement en avance et 50% avant expédition

Port de chargement Xiamen, Chine
Manière d'expéditionPar mer/air/porte-à-porte express

sic ceramic plate

silicon carbide ceramic


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