Composants en nitrure de bore pour équipements semi-conducteurs

Le nitrure de bore pressé à chaud produit par Mascera est un matériau céramique avancé formé par pressage et frittage à haute température de poudre de nitrure de bore hexagonal. C'est un matériau dense et facilement usinable qui présente des propriétés telles qu'une résistance à haute température, un faible coefficient de dilatation thermique, un faible coefficient de frottement, une excellente rigidité diélectrique et une excellente isolation. Ces caractéristiques le rendent parfaitement adapté à divers composants de blindage et d'isolation dans des environnements difficiles à haute température, tels que le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le plasma. Ces composants, notamment les carénages et rails d'isolation, les cadres cibles, les tubes de protection, les boucliers et les revêtements, garantissent que l'arc PVD reste confiné à la zone cible, évitant ainsi d'endommager l'équipement.

Propriétés principales

Faible densité Haute résistivité électrique Conductivité thermique élevée Température de travail élevée Bonne usinabilité

Faible coefficient de dilatation thermique Bonne résistance aux chocs thermiques  Bonne résistance à la corrosion Non mouillant avec les métaux Résistance élevée à la tension de claquage