Composants en nitrure de bore pour équipements semi-conducteurs

Le nitrure de bore pressé à chaud produit par Mascera est un matériau céramique avancé obtenu par pressage et frittage à haute température de poudre de nitrure de bore hexagonal. Ce matériau dense et facilement usinable présente des propriétés telles qu'une résistance aux températures élevées, un faible coefficient de dilatation thermique, un faible coefficient de frottement, une excellente rigidité diélectrique et une excellente isolation. Ces caractéristiques le rendent particulièrement adapté à divers composants de blindage et d'isolation dans des environnements difficiles à haute température. Ces composants, notamment les gaines et rails d'isolation, les cadres de cible, les tubes de protection, les blindages et les revêtements, garantissent le confinement de l'arc PVD dans la zone cible, évitant ainsi tout dommage aux équipements.

Propriétés principales

Faible densité Haute résistivité électrique conductivité thermique élevée Température de travail élevée Bonne usinabilité

Faible coefficient de dilatation thermique Bonne résistance aux chocs thermiques  Bonne résistance à la corrosion Non mouillant avec les métaux Résistance élevée à la tension de claquage